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电子级多晶硅实现“中国造

编辑部 | 2017/6/7 10:07:12

电子级多晶硅实现“中国造
多晶硅是微电子行业和光伏产业的“基石”,是信息产业和新能源产业最基础的原材料。一般电子级硅要求含Si>99.9999%,电子级多晶硅则要求达到9个“9”以上。作为战略性原材料,电子级多晶硅的生产技术和市场长期由国外垄断,制约我国集成电路产业、新能源产业、新材料产业的发展。
5月24日,国家电投黄河水电新能源分公司正式推出国产高纯电子级多晶硅产品——“黄河水电多晶硅”,实现了电子级多晶硅的“中国制造”,打破国外垄断格局。
 
填补国内空白
 
国内首条电子级多晶硅生产线的出现,经历了近10年的时间。
据黄河公司新能源分公司总经理刘?#25112;?#32461;,“黄河水电多晶硅”的研发工作正式开始于2006年,于2010年全面投产,形成的2500吨高纯电子级多晶硅产能,填补了国内空白,目前国内市场占?#26032;?#36798;10%。2015年,黄河水电多晶硅完成国家科技重大专项《极大规模集成电?#20998;?#36896;装备及成套工艺》(即“02专项”)全部技术指标要求。
“黄河水电多晶硅”采用改良西门子法,年产达2500吨电子级多晶硅,实现完全闭路循环,节能低耗、安全环保,其氧含量<0.02ppma,碳含量<0.02ppma,受主杂质<0.03ppba,施主杂质<0.05ppba,基体总金属杂质<2ppbw,经第三方权威检测机构检测,产品质量与德国、日?#23616;?#21517;多晶硅质量相当。
“攻克电子级多晶硅的关键要素包括很多方面,对工艺、设备管道选型、仪表选型、洁净?#19994;?#32423;都有严格的要求,在施工及检修时,需要按照最高洁净等级规范,在原辅材料、中间产品、辅助气体和介质方面也要进行完善的质量体系控制。”刘刚补充,“每一个细小环节都需要长期的实验积累?#34892;?#30340;数据,从中?#39029;?#21046;约质量提升的因素。”
来自重庆的某下游企业负责人告诉记者:“设备可以阶段性引入,但材料必须是连续性的,我们曾遇到过某外国厂商的突然断供,造成了很大损失。如果关键材料可以实现国产化,我们可以减少很多后顾之忧。”

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